型        号：S-4800

生产厂家：日本日立

性能指标：

1. 二次电子分辨率：  ≤1.0nm（加速电压15kV WD = 4mm）；≤2.0nm（加速电压1kV WD = 1.5mm，普通模式）；≤1.4nm（照射电压1kV，WD = 1.5mm，使用减速装置）；

2. 电子枪：冷场发射电子源；

3. 加速电压：0.5~30 kV；

4. 放大倍数： ×30~×800,000；

5. 探测器：低位/高位二次电子探测器；

6. 附件：离子溅射仪，X射线能谱仪，X射线能谱仪。

主要应用：

扫描电镜主要用于生物样品、纳米材料、高分子材料、金属材料、无机或有机材料等各种固体样品的高分辨表面及截面形貌成像观察，分辨率可达1 nm。能谱仪主要对样品所含元素成分进行分析。目前扫描电镜和能谱仪已广泛用于材料科学（纳米材料、金属材料、非金属材料）、生物学、医学、地质勘探、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等领域。

我所扫描电镜发射束流低并配备了电子束减速装置，可以较大程度上减少样品在电子束轰击下的荷电效应，适合于一些不导电样品和在电子束辐照下易损坏样品（有机、高分子、生物样品等）的表面高分辨成像。

所内用户可利用扫描电镜进行各种固体材料及生物样品的高分辨成像和对其所含元素成分进行分析。

相关参考文献：

1. S. R. Nicewarner-Pen, R. G. Freeman, B. D. Reiss, et al. Science, 2001, 294, 137-141.

2.  N. Sakamoto, Y. Seto, S. Itoh, et al. Science, 2007, 317, 231-233.

仪器管理员：王文海

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